CAIS 研磨墊檢查系統

- 適用於24,、26、33 英吋大小的研磨墊。

- 高效檢出瑕疵總類、可提生產線良率需求。

- 以測光及背光模組，搭配軟體演算法計算出分層架構以及瑕疵分類，以滿足客戶對於瑕疵種類分析的方式。

- 符合工業4.0規範。

- 支援AI solution模組，可有效提升產品瑕疵檢出穩定性。

- 可檢測瑕疵:Patricle、 Airhole、 Gel...etc。