DFIS 基板瑕疵檢測系統
- 高速檢驗系統。
- 即時瑕疵標記系統(INK or Laser)。
- 符合工業4.0標準(SECS/GEM)。
- 業界最大抗產品翹曲能力 8mm。
- 支援AI solution模組,可有效提升產品瑕疵檢出穩定性。
- 可檢測項目: 白點、壓傷、髒污、孔洞、刮傷、OCR。